一、項(xiàng)目信息
?。?)采購人:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所?
(2)項(xiàng)目名稱:重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃類項(xiàng)目?
?。?)擬采購的貨物或服務(wù)說明:?
包含BEAMER和TRACER兩個(gè)完整軟件包。包含1年的軟件升級(jí)技術(shù)支持服務(wù)。
(4)擬采購的貨物或服務(wù)預(yù)算金額:
預(yù)算金額98萬元。?
(5)采用單一來源采購方式的原因及說明:?
????電子束直寫數(shù)據(jù)處理軟件是高斯束電子束直寫圖形處理的標(biāo)配軟件。主要用于版圖數(shù)據(jù)的布局操作、過程校正、特殊的圖形切割以及寫場控制,并實(shí)現(xiàn)單純直寫系統(tǒng)硬件上做不到的特殊器件以及應(yīng)用。
????目前,本單位已經(jīng)購置過一套電子束直寫數(shù)據(jù)處理軟件,但該軟件僅支持單用戶操作,目前使用已飽和。而目前承擔(dān)的項(xiàng)目所需的版圖數(shù)據(jù)處理量大幅增加。由于版圖數(shù)據(jù)量大,軟件處理時(shí)間長、耗時(shí),會(huì)嚴(yán)重影響效率和進(jìn)度。已有軟件已無法支撐相關(guān)工作的開展。因此,需要新購一套電子束直寫數(shù)據(jù)處理軟件,提高掩模圖形數(shù)據(jù)處理的能力,保障項(xiàng)目的進(jìn)度。
????德國GenISys公司的BEAMER和TRACER是目前唯一的電子束直寫軟件整體解決方案,在高端50kv-200kv高斯束電子束直寫系統(tǒng)中保持壟斷的市場份額。因此,本項(xiàng)目只能通過單一來源方式進(jìn)行采購。
二、擬定供應(yīng)商信息?
名稱:GenISys GmbH
地址:Eschenstra?e 66, D-82024 Taufkirchen?
三、?公示期限?
2024年12月2日 至?2023年12月8日?
四、?聯(lián)系方式?
聯(lián)系人:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所?
聯(lián)系方式:劉老師?028-85752244
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